«И» «ИЛИ»  
© Публичная Библиотека
 -  - 
Универсальная библиотека, портал создателей электронных книг. Только для некоммерческого использования!
Виноградов Михаил Иванович

Михаил Иванович Виноградов 27k

-

()

  ◄  СМЕНИТЬ  ►  |▼ О СТРАНИЦЕ ▼
▼ ОЦИФРОВЩИКИ ▼|  ◄  СМЕНИТЬ  ►  
.
:
...




  • Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии. [Djv-Fax- 1.0M] Учебное пособие для слушателей курсов повышения квалификации ИТР по вакуумному аппарато- и приборостроению. Авторы: М.И. Виноградов, Ю.П. Маишев.
    (Москва: Издательство «Машиностроение», 1989)
    Скан, обработка, формат Djv-Fax: Sergege, 2007
    • СОДЕРЖАНИЕ:
ИЗ ИЗДАНИЯ: Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-лучевой обработки и его основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно-лучевые методы обработки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков.